名稱: 熱場式場發射掃描電鏡
品牌:日本日立(Hitachi)
型號🙆🏿:SU5000
• 低位二次電子探測器👩🏿✈️🙍🏼♀️;
• 五軸馬達驅動樣品臺😚;
• 4孔物鏡活動光闌桿(孔徑20, 30, 70, 150µm)。
• 分辨率🧗🏿👩🏼🍼:優於1.2nm@30kV;
• 束流🚗🧻:最大不小於200nA;
• 樣品臺驅動:5軸U意昂馬達驅動🥦;
• X/Y/Z/T/R一體化🍺,非分離式,X:0~100mm,Y:0~50mm🐓,Z⚇💪:3~65mm🤶,T:-20
~90deg🧝🏽💁🏿♀️,R: 360deg連續可調;
• 最大樣品尺寸:最大直徑200mm😮💨,最大高度80mm。
用於材料的微觀形貌結構表征。
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